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淺述小型甩帶機的開關機操作
更新時間:2019-04-27 點擊次數:1027
一、小型甩帶機的開機
1.開總電源:將對面墻壁上左邊的電源閘刀向上撥至“on”;
2.開冷卻水:將設備后水管總開關扭至與水管平行,并將兩個水閥逆時針旋轉45°;
3.開機械泵:按下機械泵開機電源按鈕,等待2分鐘,待系統內空氣抽凈;
4.開擴散泵:按下擴散泵開機電源按鈕,等待50分鐘,待擴散泵預熱*;
5.開銅輥電機:按下電機“調速”電源按鈕,并按變頻器上的“run”一次,運行變頻器;
注意:預熱時務必確保機械泵和擴散泵閥門處于關閉狀態(tài)。
6.小型甩帶機開腔門:將腔體右側的氬氣充氣閥順時針旋轉90°,給腔體充氬氣使氣壓表指針指向“0”并關上閥門,然后利用扳手松開螺絲并將腔門打開。
二、小型甩帶機的關機
1.清理內腔:
①順時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為5m/s;
②用沾有丙酮的紙巾擦拭銅輥外徑表面;
③用金相砂紙輕輕擦拭外沿;
④重復第②步;
⑤逆時針旋轉變頻器上的變頻旋鈕至銅輥轉速為“0”;
⑥用沾有丙酮的紙巾擦拭腔體其他地方。
2.關腔門:關上腔門,并用扳手緊固螺絲;
3.按變頻器“stop”使變頻器關;
4.按起“調速”電源按鈕;
5.按起擴散泵電源按鈕;
6.拉出機械泵拉桿抽低真空至氣壓表指示為“-0.1”后在推入拉桿;
7.等待一小時后關閉機械泵電源按鈕;
8.關閉冷卻水閥;
9.將總電源閘刀拉下至“off”。